Organokupfervorläuferzusammensetzungen, und Verfahren zur Abscheidung von Kupfer mittels CVD
EP1063240
Art A3
27. November 2002
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1063240
- Aktenzeichen
- EP00304591
- Anmeldetag
- 31. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 27. November 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/08C23C16/44C23C16/448
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Allard, Susan Joyce
London, Großbritannien
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