Integrierte Turbopumpe und Steuerventilsystem
EP1063456
Art B1
9. November 2005
Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1063456
- Aktenzeichen
- EP00112690
- Anmeldetag
- 15. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 9. November 2005
- Erteilung
- 9. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16K3/06F04D19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS INSTRUMENTS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Feldkamp, Rainer
München, Deutschland
226
Patente gesamt
28
Fachgebiete
13
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Schwerpunkte