Objektiv, insbesondere Objektiv für eine Halbleiter-Lithographie-Projektionsbelichtungsanlage und Herstellungsverfahren
EP1063551
Art B1
2. Juni 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1063551
- Aktenzeichen
- EP00108927
- Anmeldetag
- 27. April 2000
- Veröffentlichung
- 2. Juni 2004
- Erteilung
- 2. Juni 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B13/14G02B13/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
🇩🇪
Carl Zeiss
Carl Zeiss ist ein deutscher Hersteller von optischen und optoelektronischen Systemen mit Sitz in Oberkochen. Das Patentportfolio konzentriert sich klar auf Optik und Fototechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Medizintechnik und Software für bildgebende Anwendungen. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.
486 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
361
Patente gesamt
33
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte