Verfahren zur Erzeugung eines feinen Musters und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterelements

EP1063568 Art B1 29. August 2007

Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha, SHARP KABUSHIKI KAISHA, ASM JAPAN K.K., Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1063568
Aktenzeichen
EP00112783
Anmeldetag
16. Juni 2000
Veröffentlichung
29. August 2007
Erteilung
29. August 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/16H01L21/316G03F7/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sharp Kabushiki Kaisha
SHARP KABUSHIKI KAISHA
ASM JAPAN K.K.
Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sharp

Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.

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