Trockenätzverfahren und Trockenätzvorrichtung
EP1063691
Art A3
21. August 2002
Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, Tohoku University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1063691
- Aktenzeichen
- EP00301655
- Anmeldetag
- 1. März 2000
- Veröffentlichung
- 21. August 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOHOKU UNIVERSITY
Tohoku University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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Fachgebiete
Kanzlei
Mohun Aldridge Sykes Limited
Kanzlei für Patent- und Markenanwälte mit Standorten in Leeds und York, berät zu Patenten, Marken, Design- und Urheberrechten sowie Geschäftsgeheimnissen, unterstützt KMU, Start-ups und Forschungseinrichtungen bei Portfolio-Management und Freedom-to-Operate.
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