Verfahren zum Betrieb einer Mehrkammer-Vakuumanlage
EP1065385
Art B1
30. Juli 2003
Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1065385
- Aktenzeichen
- EP00112484
- Anmeldetag
- 13. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 30. Juli 2003
- Erteilung
- 30. Juli 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D27/00F04D25/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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