Inert-Barriere für Hochreinheit-Epitaxialabscheidungssysteme

EP1065701 Art B1 26. März 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1065701
Aktenzeichen
EP00113952
Anmeldetag
30. Juni 2000
Veröffentlichung
26. März 2008
Erteilung
26. März 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00C23C16/00C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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