Mehrstufiger Aluminium-Abscheideprozess zum Füllen von Kontaktlöchern
EP1065713
Art A3
23. Mai 2001
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1065713
- Aktenzeichen
- EP00113013
- Anmeldetag
- 21. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Käck, Jürgen
Landsberg am Lech, Deutschland
814
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32
Fachgebiete
17
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Weitere Vertreter
-
Kahler, Kurt, Dipl.-Ing
NoneLandsberg am Lech