Trägerplatte mit einer flexiblen Membran und einem Randpressring

EP1066924 Art A3 17. September 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1066924
Aktenzeichen
EP00305802
Anmeldetag
10. Juli 2000
Veröffentlichung
17. September 2003
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B41/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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