Substrat-Transportbehälter

EP1067583 Art B1 19. Dezember 2007

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1067583
Aktenzeichen
EP00114043
Anmeldetag
5. Juli 2000
Veröffentlichung
19. Dezember 2007
Erteilung
19. Dezember 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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