Verfahren und Vorrichtung zur Abdichtung von einer Epitaxialsiliziumschicht über einem Substrat
EP1067585
Art A3
26. Juli 2006
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1067585
- Aktenzeichen
- EP00114548
- Anmeldetag
- 6. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 26. Juli 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00C01B13/10H01L21/316
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Kirschner, Klaus Dieter
München, Deutschland
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