Chemisch-mechanisches Polierverfahren und Bauelemente

EP1068928 Art A3 13. August 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1068928
Aktenzeichen
EP00301087
Anmeldetag
11. Februar 2000
Veröffentlichung
13. August 2003
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B49/12H01L21/306H01L21/321H01L21/768B24D7/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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