Katadioptrisches optisches System und Projektionsbelichtungsvorrichtung mit einem solchen System

EP1069448 Art B1 19. März 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1069448
Aktenzeichen
EP00305938
Anmeldetag
13. Juli 2000
Veröffentlichung
19. März 2003
Erteilung
19. März 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G02B17/08G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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