Vorrichtung zur Reduzierung der Peakleistung einer Pulslaser-Lichtquelle
EP1069453
Art B1
15. September 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1069453
- Aktenzeichen
- EP00112846
- Anmeldetag
- 17. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 15. September 2004
- Erteilung
- 15. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/14H01S3/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
361
Patente gesamt
33
Fachgebiete
13
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Schwerpunkte