Kontinuierliche, nicht zusammengeballte Haftung einer Keimschicht auf einer Barriereschicht
EP1069612
Art A3
14. Mai 2003
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1069612
- Aktenzeichen
- EP00305493
- Anmeldetag
- 29. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768H01L21/203H01L21/285H01L21/3205
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
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