Herstellungsverfahren für eine Anzeigevorrichtung und Vorrichtung zum Herstellen einer Dünnschicht

EP1071117 Art B1 9. Oktober 2013

Anmelder: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD., SEL SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1071117
Aktenzeichen
EP00115329
Anmeldetag
14. Juli 2000
Veröffentlichung
9. Oktober 2013
Erteilung
9. Oktober 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67C23C14/56H01L51/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
SEL SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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