Verfahren zur Herstellung einer Oxid-Ummantelung in einem Graben in einem Halbleitersubstrat

EP1071121 Art A1 24. Januar 2001

Anmelder: International Business Machines Corporation, Infineon Technologies AG 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1071121
Aktenzeichen
EP00113999
Anmeldetag
1. Juli 2000
Veröffentlichung
24. Januar 2001
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105C09G1/04B24B1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
International Business Machines Corporation
Infineon Technologies AG
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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