Trockenätzverfahren zur Herstellung einer Wolfram-Leiterbahn in einer Halbleitervorrichtung

EP1071124 Art A3 24. Oktober 2001

Anmelder: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD., SEL SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1071124
Aktenzeichen: EP00115333
Anmeldetag: 14. Juli 2000
Veröffentlichung: 24. Oktober 2001
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213H01L21/768H01L23/528H01L21/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
SEL SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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