Halbleiterscheibe Poliervorrichtung
EP1072359
Art B1
26. April 2006
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1072359
- Aktenzeichen
- EP00116023
- Anmeldetag
- 26. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 26. April 2006
- Erteilung
- 26. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B47/22B24B49/12H01L21/00// H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Geyer, Ulrich F
München, Deutschland
481
Patente gesamt
29
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Geyer, Ulrich F., Dr. Dipl.-Phys
NoneMünchen