Halbleiterscheibe Poliervorrichtung

EP1072359 Art B1 26. April 2006

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1072359
Aktenzeichen
EP00116023
Anmeldetag
26. Juli 2000
Veröffentlichung
26. April 2006
Erteilung
26. April 2006
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B47/22B24B49/12H01L21/00// H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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