Gerät zur Bearbeitung eines Halbleiterwerkstückes

EP1073096 Art B1 29. August 2007

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba, SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT, KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1073096
Aktenzeichen: EP00115094
Anmeldetag: 27. Juli 2000
Veröffentlichung: 29. August 2007
Erteilung: 29. August 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kabushiki Kaisha Toshiba
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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🇩🇪 Siemens

Deutscher Technologiekonzern mit Sitz in München und Berlin. Aktiv in Automatisierungstechnik, Digitalisierung, Energie- und Bahntechnik sowie Industriesoftware für Industrie, Infrastruktur und Mobilität.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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