Eine Trägervorrichtung mit einem Direkten Pneumatischen Drucksystem, um ein Wafer zu Polieren, Verwendet in einer Vorrichtung und einem Verfahren zum Chemisch-Mechanischen Polieren

EP1075351 Art B1 2. Juni 2004

Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1075351
Aktenzeichen: EP00915318
Anmeldetag: 1. März 2000
Veröffentlichung: 2. Juni 2004
Erteilung: 2. Juni 2004
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/04B24B41/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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