Plasmaquelle hoher Dichte für ionisierter Metall Metallabscheidung
EP1076352
Art A3
23. November 2005
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1076352
- Aktenzeichen
- EP00306909
- Anmeldetag
- 14. August 2000
- Veröffentlichung
- 23. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
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