Zusammensetzung zur chemisch-mechanischen Planarisierung

EP1077241 Art A2 21. Februar 2001

Anmelder: L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1077241
Aktenzeichen
EP00402293
Anmeldetag
16. August 2000
Veröffentlichung
21. Februar 2001
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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