Oniumsalze, Fotosäure erzeugende Substanzen für Fotoresistzusammensetzungen, und Strukturierungsverfahren
EP1077391
Art B1
27. September 2006
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1077391
- Aktenzeichen
- EP00306997
- Anmeldetag
- 16. August 2000
- Veröffentlichung
- 27. September 2006
- Erteilung
- 27. September 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004G03F7/039C07C381/12C07C309/73C07C309/71
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Fachgebiete
Vertreten von
Stoner, Gerard Patrick
London, Großbritannien
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