Verfahren zur Säuberung einer Vorrichtung zum Herstellen von Dünnfilm-Silizium

EP1079422 Art B1 25. Juli 2007

Anmelder: KANEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1079422
Aktenzeichen: EP00106258
Anmeldetag: 22. März 2000
Veröffentlichung: 25. Juli 2007
Erteilung: 25. Juli 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L21/00H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KANEKA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kaneka

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Kaneka stellt Kunststoffe, funktionale Chemikalien, Lebensmittelzusatzstoffe, Medizinprodukte und Materialien für Elektronik und Bauwesen her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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