Antenne-Vorrichtung zur Erzeugung eines induktiv gekoppelten plasmas
EP1079671
Art A3
7. November 2001
Anmelder: Jusung Engineering Co. Ltd., Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1079671
- Aktenzeichen
- EP00401460
- Anmeldetag
- 25. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 7. November 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/46H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Jusung Engineering Co. Ltd.
Korea Advanced Institute of Science and Technology - Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Jusung Engineering
Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
276 Patente in unserer Datenbank
🇰🇷
KAIST
Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.
2.521 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Texier, Christian
Paris, Frankreich
926
Patente gesamt
34
Fachgebiete
24
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Schrimpf, Robert
NoneParis