Antenne-Vorrichtung zur Erzeugung eines induktiv gekoppelten plasmas
EP1079671
Art A3
7. November 2001
Anmelder: Jusung Engineering Co. Ltd., Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1079671
- Aktenzeichen
- EP00401460
- Anmeldetag
- 25. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 7. November 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/46H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Jusung Engineering Co. Ltd.
Korea Advanced Institute of Science and Technology - Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
KAIST
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Vertreten von
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