Trägervorrichtung, Poliervorrichtung die eine solche Trägervorrichtung verwendet, und Verfahren zum Messen des Zustandes von der polierten Oberfläche

EP1080841 Art A3 11. Juli 2001

Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1080841
Aktenzeichen: EP00118225
Anmeldetag: 1. September 2000
Veröffentlichung: 11. Juli 2001
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/04B24B41/06B24B49/10B24B49/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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