Optisches Element aus Synthetischem Quarzglass für Uv-Licht und Einrichtung zur Verringerung der Belichtung, das Dieses Benutzt

EP1081106 Art A1 7. März 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1081106
Aktenzeichen
EP00903985
Anmeldetag
16. Februar 2000
Veröffentlichung
7. März 2001
Rechtsraum
EP
IPC
C03C3/06H01L21/027G03F1/14G02B1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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