Vakuumbogen-Verdampfungsquelle

EP1081248 Art A3 19. Dezember 2001

Anmelder: NISSIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1081248
Aktenzeichen
EP00307110
Anmeldetag
18. August 2000
Veröffentlichung
19. Dezember 2001
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/32H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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