Verfahren zum Auftragen fluorierter Silikaglas-Schichten

EP1081249 Art A1 7. März 2001

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1081249
Aktenzeichen
EP00119011
Anmeldetag
1. September 2000
Veröffentlichung
7. März 2001
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/40C23C16/50H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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