Muster zur Messung der Aberration einer Stepper-Linze und Auswertungsverfahren der Aberrations-Merkmale einer Stepper-Linze
EP1081483
Art B1
19. Januar 2011
Anmelder: Oki Electric Industry Co., Ltd., Oki Electric Industry Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1081483
- Aktenzeichen
- EP00302145
- Anmeldetag
- 16. März 2000
- Veröffentlichung
- 19. Januar 2011
- Erteilung
- 19. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01M11/02G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Oki Electric Industry Co., Ltd.
Oki Electric Industry Company, Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Oki Electric Industry Co., Ltd.
Oki Electric Industry Co., Ltd. ist ein japanischer Elektronikkonzern mit Schwerpunkt auf Telekommunikations- und Informationssystemen sowie Halbleitern und entsprechenden Patenten.
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Read, Matthew Charles
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