Verfahren zur Herstellung eines Dünnschicht-Halbleiterbauteils

EP1083590 Art A1 14. März 2001

Anmelder: Seiko Epson Corporation, MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA, SEIKO EPSON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1083590
Aktenzeichen
EP00900401
Anmeldetag
14. Januar 2000
Veröffentlichung
14. März 2001
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Seiko Epson Corporation
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
SEIKO EPSON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Epson

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