Vorrichtung zur Plasmabehandlung
EP1083591
Art A1
14. März 2001
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Ohmi, Tadahiro 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1083591
- Aktenzeichen
- EP00906684
- Anmeldetag
- 3. März 2000
- Veröffentlichung
- 14. März 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Ohmi, Tadahiro - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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