Vorrichtung zur Plasmabehandlung

EP1083591 Art A1 14. März 2001

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Ohmi, Tadahiro 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1083591
Aktenzeichen
EP00906684
Anmeldetag
3. März 2000
Veröffentlichung
14. März 2001
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO ELECTRON LIMITED
Ohmi, Tadahiro
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

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