Verfahren zum Herstellen von Siliziumoxidfilmen

EP1087433 Art A1 28. März 2001

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1087433
Aktenzeichen
EP00912923
Anmeldetag
29. März 2000
Veröffentlichung
28. März 2001
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/312
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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