Mehrschrittiges Verfahren zum Reinigen einer Prozesskammer unter Verwendung eines entfernt erzeugten Plasmas, das ebenfalls die Filmlückenfülleigenschaften verbessert
EP1087437
Art B1
23. Juli 2008
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1087437
- Aktenzeichen
- EP00308252
- Anmeldetag
- 21. September 2000
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2008
- Erteilung
- 23. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/762H01L21/316H01L21/311H01L21/3065H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Vertreten von
Setna, Rohan P
London, Großbritannien
754
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Allard, Susan Joyce
NoneLondon