Sinterkörper aus Aluminiumnitrid und diese beinhaltende Bauteile in der Halbleiterproduktion

EP1088801 Art B1 7. März 2012

Anmelder: NGK Insulators, Ltd., NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1088801
Aktenzeichen
EP00308212
Anmeldetag
20. September 2000
Veröffentlichung
7. März 2012
Erteilung
7. März 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C04B35/581H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NGK Insulators, Ltd.
NGK INSULATORS, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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