Kompakte Photokathode und Linsenanordnung für Elektronenstrahllithographie mit Hohem Produktionstakt
EP1090330
Art A2
11. April 2001
Anmelder: Applied Materials, Inc., Etec Systems, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1090330
- Aktenzeichen
- EP00919443
- Anmeldetag
- 15. März 2000
- Veröffentlichung
- 11. April 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Etec Systems, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
655
Patente gesamt
33
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte