Endpunktbestimmung bei der Herstellung Elektronischer Vorrichtungen

EP1090420 Art A1 11. April 2001

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1090420
Aktenzeichen
EP00916462
Anmeldetag
16. März 2000
Veröffentlichung
11. April 2001
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66C23C16/44C23C16/52G01B11/06H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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