Ex-situ Beschichtung von Spulen für IMP-Verfahren mit Refraktärmetall
EP1091014
Art A1
11. April 2001
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1091014
- Aktenzeichen
- EP00308845
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 11. April 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34H01J37/34C23C14/32
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Allard, Susan Joyce
London, Großbritannien
131
Patente gesamt
26
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte