Excimerlaser mit Gebläse

EP1091471 Art A3 18. Februar 2004

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1091471
Aktenzeichen
EP00121684
Anmeldetag
4. Oktober 2000
Veröffentlichung
18. Februar 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/036H02K7/09F16C32/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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