Trägervorrichtung für eine Chemisch-Mechanische Poliervorrichtung, mit einem Halterring und einer Trägerplatte mit Mehrzonaler Drucksteuervorrichtung

EP1091829 Art B1 17. September 2003

Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1091829
Aktenzeichen: EP00919082
Anmeldetag: 24. Februar 2000
Veröffentlichung: 17. September 2003
Erteilung: 17. September 2003
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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