Magnetron mit einem Kühlsystem für ein Substratbehandlungssystem
EP1093154
Art A3
4. Juli 2001
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1093154
- Aktenzeichen
- EP00121354
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01J37/34H01J23/033H01J23/00C23C14/34H01L23/473
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Käck, Jürgen
Landsberg am Lech, Deutschland
814
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Fachgebiete
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kahler, Kurt, Dipl.-Ing
NoneLandsberg am Lech