Ultraschallresonator zur Diskreinigung und Verfahren dafür

EP1095714 Art A3 23. Mai 2001

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1095714
Aktenzeichen
EP00309373
Anmeldetag
25. Oktober 2000
Veröffentlichung
23. Mai 2001
Rechtsraum
EP
IPC
B08B3/12H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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