Plasmazerstäubung mit schweren Gasen
EP1096036
Art A1
2. Mai 2001
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1096036
- Aktenzeichen
- EP00309650
- Anmeldetag
- 1. November 2000
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04C23C14/35
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Draper, Martyn John
London, Großbritannien
343
Patente gesamt
30
Fachgebiete
13
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