Turbomolekularpumpe

EP1096152 Art B1 23. April 2008

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1096152
Aktenzeichen
EP00122662
Anmeldetag
18. Oktober 2000
Veröffentlichung
23. April 2008
Erteilung
23. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/52F04D29/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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