Halbleiterwafer-Behandlungsvorrichtung mit einem Waferanwesenheitsdetektor und Verfahren
EP1096548
Art A2
2. Mai 2001
Anmelder: LUCENT TECHNOLOGIES INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1096548
- Aktenzeichen
- EP00309089
- Anmeldetag
- 16. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LUCENT TECHNOLOGIES INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lucent Technologies
Ehemaliges US-amerikanisches Telekommunikationsunternehmen mit Sitz in Murray Hill, New Jersey, hervorgegangen aus AT&T. Lucent entwickelte Netzwerktechnik und Kommunikationssysteme und fusionierte 2006 mit Alcatel zu Alcatel-Lucent, heute Teil von Nokia.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Watts, Christopher Malcolm Kelway, Dr
NoneWoodford Green