Haltevorrichtungen für Substrate

EP1096549 Art B1 2. Januar 2013

Anmelder: Ferrotec (USA) Corporation, Edwards Vacuum, Inc., BOC Edwards, Inc., THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1096549
Aktenzeichen: EP00309403
Anmeldetag: 25. Oktober 2000
Veröffentlichung: 2. Januar 2013
Erteilung: 2. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687C23C14/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ferrotec (USA) Corporation
Edwards Vacuum, Inc.
BOC Edwards, Inc.
THE BOC GROUP, INC.
Land: 🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

von Hellfeld, Axel München, Deutschland

2.759

Patente gesamt

32

Fachgebiete

18

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Medizintechnik & Gesundheit Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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