Verfahren zur Abscheidung von Materialen auf Substraten

EP1101834 Art A3 26. November 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1101834
Aktenzeichen
EP00310185
Anmeldetag
16. November 2000
Veröffentlichung
26. November 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C23C14/35C23C14/04H01L21/768H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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