Turbomolekularpumpe

EP1101944 Art B1 19. Juli 2006

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1101944
Aktenzeichen
EP00124676
Anmeldetag
11. November 2000
Veröffentlichung
19. Juli 2006
Erteilung
19. Juli 2006
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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