Optische Abbildungsvorrichtung, inbesondere Objektiv, mit wenigstens einer Systemblende

EP1102103 Art B1 26. August 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1102103
Aktenzeichen
EP00122003
Anmeldetag
10. Oktober 2000
Veröffentlichung
26. August 2009
Erteilung
26. August 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G02B26/02G02B5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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